服务项目
北方微电子可以为泛半导体领域的客户提供使用于4”~12”不同尺寸的备品备件,这些备品备件可以分别应用于刻蚀机(EYCH)、物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等半导体设备。

北方微电子在各地服务中心分别建立了专门的备品备件存储仓库,其中各类易损易耗件及主要备件储存量达到95%以上。客服中心通过ERP管理系统,实现对产品零部件库存的跟踪管理,确保库存的准备率和及时供应,为客户的不间断生产提供保障。

北方微电子通过十余年在高端微电子装备领域的发展,积累了大量稳定的供应商合作群体,可以为客户提供高品质低成本的零备件产品供应。
为客户提供以下备件
消耗件
石英件 石英盖 聚焦环 石英盖板 喷嘴等 陶瓷件 绝缘环 压环保护罩 基环 陶瓷针等 树脂件 树脂滑块 树脂支架 喷嘴支架等密封圈 不同规格的佛橡胶
常用备件
传感器 压力开关 真空规 MFC 光纤传感器等 电磁阀 应用于水路和气路控制不同规格的电磁阀 泵pump 各类干泵 分子泵冷泵 冷冻机chiller 不同品牌不同规格的冷冻机 机械手robot应用于大气/真空传输系统
各类机加工件

钣金件

反应腔体

内衬

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